ИК-Фурье спектрометр ФСМ-1201
ИК фурье - спектрометр ФСМ 1201 представляет собой специализированный тестер полупро водниковых пластин на основе универсального фурье - спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двух - координатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.
Стандарт: | |
Квалификация: | |
Производитель: | |
Срок поставки: | |
Единица измерения: | |
Цена: |
ИК фурье - спектрометр ФСМ 1201 представляет собой специализированный тестер полупро водниковых пластин на основе универсального фурье - спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двух - координатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.
ИК фурье - спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами ASTM F 1188 и F 1391, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии и ASTM F 95, определяющим метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа п-п+ или р-р+ и др. Возможно измерение толщины слоев в структурах КНС, определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.
Прибор зарегистрирован в Госреестре средств измерений России № 18895-99. Аттестация под тверждена на Украине и в Белоруссии.
Основные области применения:
- Химия и нефтехимия: Анализ сырья и продуктов органического синтеза. Структуроно-групповой и фракционный состав нефтепродуктов, контроль содержания бензола. Анализ топлив: эфиры, спирты, ароматика, октановое число
- Полимеры: Анализ сополимеров, идентификация полимерных композиций. Анализ модифицирующих добавок: пластификаторы, антиоксиданты
- Газовый анализ: Анализ многокомпонентных газовых смесей. Контроль качества продукции газовой промышленности, анализ состава и влажности природного газ
- Биотехнология и фармацевтика: Определение подлинности субстанций по ИК-стандартам. Контроль качества лекарственных форм и сырья
- Экологический контроль: Определение нефтепродуктов в воде и почве. Контроль атмосферного воздуха, воздуха рабочей зоны и выбросов промышленных предприятий